原子力顯微鏡使用的探針一共分為幾種

　　AFM探針由于應(yīng)用范圍僅限于原子力顯微鏡，屬于高科技儀器的耗材，應(yīng)用領(lǐng)域不廣，使用量也不多。由于探針壽命短，分辨率不高也不穩(wěn)定且一致性差，各國都在開發(fā)新型探針。

　　1、非接觸/輕敲模式針尖以及接觸模式探針：常用的產(chǎn)品，分辨率高，使用壽命一般。使用過程中探針不斷磨損，分辨率很容易下降。主要應(yīng)用于表面形貌觀察。

　　2、導(dǎo)電探針：通過對普通探針鍍10-50納米厚的Pt(以及別的提高鍍層結(jié)合力的金屬，如Cr，Ti，Pt和Ir等)得到。

　　導(dǎo)電探針應(yīng)用于EFM，KFM，SCM等。導(dǎo)電探針分辨率比tapping和contact模式的探針差，使用時導(dǎo)電鍍層容易脫落，導(dǎo)電性難以長期保持。導(dǎo)電針尖的新產(chǎn)品有碳納米管針尖，金剛石鍍層針尖，全金剛石針尖，全金屬絲針尖，這些新技術(shù)克服了普通導(dǎo)電針尖的短壽命和分辨率不高的缺點。

　　3、磁性探針：應(yīng)用于MFM，通過在普通tapping和contact模式的探針上鍍Co、Fe等鐵磁性層制備，分辨率比普通探針差，使用時導(dǎo)電鍍層容易脫落。

　　4、大長徑比探針：大長徑比針尖是專為測量深的溝槽以及近似鉛垂的側(cè)面而設(shè)計生產(chǎn)的。特點：不太常用的產(chǎn)品，分辨率很高，使用壽命一般。技術(shù)參數(shù)：針尖高度>9μm；長徑比5:1；針尖半徑<10nm。

　　5、類金剛石AFM探針/全金剛石探針：一種是在硅探針的針尖部分上加一層類金剛石碳膜，另外一種是全金剛石材料制備(價格很高)。這兩種金剛石碳探針具有很大的耐久性，減少了針尖的磨損從而增加了使用壽命。

　　除此之外，還有生物探針(分子功能化)，力調(diào)制探針，壓痕儀探針。