簡要描述:國儀量子超高分辨率場發射掃描電子顯微鏡SEM5000X,其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設計、高壓隧道技術(SuperTunnel)以及鏡筒工藝升級,實現了低電壓分辨率的進一步提升。
詳細介紹
超高分辨場發射掃描電子顯微鏡
SEM5000X是一款超高分辨率場發射掃描電子顯微鏡,其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設計、高壓隧道技術(SuperTunnel)以及鏡筒工藝升級,實現了低電壓分辨率的進一步提升。全新設計的樣品倉,擴展接口增加至16個,快速換樣倉最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm),極大擴展應用范圍。高級掃描模式和自動功能增強,帶來了更強的性能和更好的體驗。
產品優勢:
•超高分辨率成像,達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV
•樣品臺減速和高壓隧道技術組合的雙減速技術,挑戰極限樣品拍攝場景
•高精度機械優中心樣品臺、超穩定性的機架減震設計,可搭配整體罩殼設計,極大減弱環境對極限分辨率的影響
•最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉,滿足半導體和科研應用需求
應用案例
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