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            超高分辨場發射掃描電子顯微鏡

            簡要描述:國儀量子超高分辨率場發射掃描電子顯微鏡SEM5000X,其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設計、高壓隧道技術(SuperTunnel)以及鏡筒工藝升級,實現了低電壓分辨率的進一步提升。

            • 產品型號:SEM5000X
            • 廠商性質:生產廠家
            • 更新時間:2025-03-18
            • 訪  問  量:3704

            詳細介紹

            超高分辨場發射掃描電子顯微鏡

            SEM5000X是一款超高分辨率場發射掃描電子顯微鏡,其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設計、高壓隧道技術(SuperTunnel)以及鏡筒工藝升級,實現了低電壓分辨率的進一步提升。全新設計的樣品倉,擴展接口增加至16個,快速換樣倉最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm),極大擴展應用范圍。高級掃描模式和自動功能增強,帶來了更強的性能和更好的體驗。

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            產品優勢:

            •超高分辨率成像,達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

            •樣品臺減速和高壓隧道技術組合的雙減速技術,挑戰極限樣品拍攝場景

            •高精度機械優中心樣品臺、超穩定性的機架減震設計,可搭配整體罩殼設計,極大減弱環境對極限分辨率的影響

            •最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉,滿足半導體和科研應用需求



            應用案例


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